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씨피시스템, 초정밀소재부품 제작을 위한 클린룸용 G-Clean chain
2023-09-06 조회수 : 329

 

 

반도체 공정의 클린룸은 초정밀 청정도를 유지하기 위해서 설계된 특수한 공정 공간으로 공기 중의 먼지, 미생물 및 기타 오염물질을 제어하기 위해 분진 및 소음 규제가 철저합니다. 그래서 나노미터 단위의 초정밀부품인 마이크로칩 공정에서 모든 외부 물질은 크기와 상관없이 불량 및 결함을 야기합니다. 따라서 자동화 반도체 공정에서 케이블 체인은 마모가 발생하지 않아야 하며, 1 feet 공간내 공기중에 0.5㎛이상의 입자가 1개 이하인 경우 최고등급인 클래스(Class) 1 인증을 받을 수 있습니다. 기존의 케이블 체인 인증은 체인의 내부에 케이블을 넣지 않은 상태에서 이루어지고 있었으나, 당사는 더 극한의 조건으로 케이블을 내부에 넣은 상태로 분진 평가를 진행해서 세계 최초로 ISO CLASS 1 등급을 취득하였습니다.

 

이번 전시회에 출품하는 케이블 보호용 G-Clean chain은 기존의 클린룸형 케이블 체인보다 분진 감소에 탁월한 효과가 입증되어 주요 대기업 자동화 공정 라인에서 초정밀소재부품제작에 적용 중입니다.

 

초고밀도 폴리에틸렌(UHMW-PE)소재와 불소(PTFE)소재를 추가로 적용하여 낮은 마찰계수와 내마모성을 향상 시킨 G-Clean chain은 케이블체인 구동시 링크간 접촉 마찰에서 발생되는 분진을 최소화 하기 위해 상당기간의 연구와 실험으로 초저분진을 실현한 당사의 차세대 주력 제품입니다.